晶盛机电取得单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置专利，保证掺杂元素均匀分布在晶棒里，提高晶棒的品质，提高收益
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2024-03-05 10:21:37
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金融界2024年3月5日消息，据国家知识产权局公告，浙江晶盛机电股份有限公司取得一项名为“一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置“，授权公告号CN110331436B，申请日期为2019年7月。
专利摘要显示，本发明是关于单晶硅生长炉领域，特别涉及一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置。包括掺杂筒；掺杂机构包括外筒，外筒内壁为N边形，其中N‑1条边每条边上设有一轴座，每个轴座上设有心轴；掺杂筒底部筒壁上设有一偏心孔，心轴装设于偏心孔内；外筒内顶部设有封盖，转轴手柄通过轴承与密封圈与封盖相连，封盖上设有若干止动孔，止动孔的位置与掺杂筒相对应；转轴手柄下端穿过封盖与挡板固连，上端与定位止动销相连，止动销底端插入其中一个定位孔内，挡板上设有缺口。本发明采用多次掺杂技术，保证掺杂元素均匀分布在晶棒里，提高晶棒的品质，提高收益；可以解决原有的一次只能掺杂一份掺杂剂的不足。
来源：金融界
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