金融界2024年3月5日消息,据国家知识产权局公告,浙江晶盛机电股份有限公司取得一项名为“一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置“,授权公告号CN110331436B,申请日期为2019年7月。
专利摘要显示,本发明是关于单晶硅生长炉领域,特别涉及一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置。包括掺杂筒;掺杂机构包括外筒,外筒内壁为N边形,其中N‑1条边每条边上设有一轴座,每个轴座上设有心轴;掺杂筒底部筒壁上设有一偏心孔,心轴装设于偏心孔内;外筒内顶部设有封盖,转轴手柄通过轴承与密封圈与封盖相连,封盖上设有若干止动孔,止动孔的位置与掺杂筒相对应;转轴手柄下端穿过封盖与挡板固连,上端与定位止动销相连,止动销底端插入其中一个定位孔内,挡板上设有缺口。本发明采用多次掺杂技术,保证掺杂元素均匀分布在晶棒里,提高晶棒的品质,提高收益;可以解决原有的一次只能掺杂一份掺杂剂的不足。
来源:金融界